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潔凈室等級和級別-潔凈室及相關受控環境 第1部分:空氣潔凈度等級

發表時間:2017-12-11 23:37

  言

  • 潔凈室及相關受控環境將空氣懸浮粒子控制在適當的水平 以便完成對污染敏感的活動 航空航 天 微電子 制藥 、醫療器食品 醫療衛生等行業的產品和工藝受益于對懸浮污染物的控制
  • GB/T 25915 的本部分規定 ISO 等級 可作為潔凈室及相關受控環境內空氣潔凈度的技術條件 這里不僅規定了測定空氣懸浮粒子濃度的規程 也規定了標準的檢測方法
  • 本部分為粒子濃度限值限定了粒徑范圍 可按本部分提供的標準程式 根據小于或大于等級關注 粒徑的空氣懸浮粒子濃度 確定潔凈度的水平
  • 本部分是潔凈室和污染控制系列標準中的一個 除空氣懸浮粒子濃度外 在潔凈室和其他受控環 境的設計 技術條件 運行及管理中還有許多因素必須考慮 在本標準的其他部分中 有這方面的詳細 內嚇
  • 有些場合有關管理機構可能會規定補充性的政策或限制 遇到這種情況 可能需要對標準檢測方 法進行適當調整
  • 潔凈室及相關受控環境

    1 部分 空氣潔凈度等級

    1范圍

    GB/T25915 的本部分劃分潔凈室及相關受控環境的空氣潔凈度等級僅依據其內的空氣懸浮粒子濃,,

    該濃度系指粒徑大于或等于值(低限)粒徑的粒子總數規定的闊值(低)粒徑為 0. 1 μm-5 μm未設立 0. 1 μm-5 μm 規定粒徑以外粒子總數的潔凈度等級 但可以用 U 描述符和 M 分別表述超微粒子 <O. 1 μm 和大粒子 >5 μm的總。本部分不能用于描述空氣懸浮粒子的物理化學放射性或存活特性

    :大于或等于某粒徑的粒子濃度實際分布一般難以預且通常是隨時間變化的。

    2術語和定義

    下列術語和定義適用于本文件

    2. 1一般

    2. 1.1

    潔凈cleanroom

    空氣懸浮粒子濃度受控的房間 其建造和使用方式使房間內進入的 產生的 滯留的粒子最房間 內溫濕度壓力等其他相關參數按要求受控

  • 2. 1. 2
  • 潔凈區clean zone

    空氣懸浮粒子濃度受控的專用空其建造和使用方式使區內進入的 產生的 滯留的粒子最少 內溫濕度 壓力等其他相關參數按要求受控

    潔凈區可以是開放的或封閉可在也可不在潔凈室內

  • 2. 1. 3
  • 設施installation
  • 所有相關構筑物 空氣處理系統以及服務 公用系統的潔凈或一個或數個這樣的潔凈區

  • 2. 1. 4
  • 潔凈度等級classification

    潔凈度分組classification

    ISO N 級表示 潔凈室或潔凈區內按空氣懸浮粒子濃度劃分的潔凈度水平(或規定 確定該水 平的過程) 潔凈度等級代表關注粒徑粒子的最大允許濃度(表示為每立方米空氣中的粒子個數)

    1 濃度計算見 3. 2 (1

    2 本部分等級的范圍限于 ISO 1 -ISO 9

    3 本部分的等級關注粒徑限于 0.1 μm   5 μm 范圍(較低值) 指定值粒徑超出此范圍的空氣潔凈度 可以 U 描述符和 M 描述符(見 2. 3. 1 2. 3. 2 )描述和說明(但分級)

    4 : ISO 等級可帶小最小增量為 0.1ISO 1. 1 -ISO 8. 9

    5 潔凈度等級可適用于所有 3 種占用狀態

    2. 2空氣懸浮粒子

  • 2. 2. 1
  • 粒子particle

    其粒徑值(下限)在 0. 1 μm5 μm 范圍的 累計的固體或液體物質

    2. 2. 2

    粒徑particle size

  • 給定粒徑測量儀器給出的 與被測粒子的響應量相當的球形體直徑
  • 2 離散粒子計數器給出的是當量光學直徑

  • 2. 2. 3
  • 粒子濃度particle concentration

  • 單位體積空氣中粒子的個數
  • 2. 2. 4

    粒徑分布particle size distribution

  • 粒子按粒徑大小累計得出的粒子濃度
  • 2. 2. 5

    超微粒子ultrafine particle

    當量直徑小于 0. 1 μm 的粒子

    2. 2. 6

    大粒子macroparticle

    當量直徑大于 5 μm 的粒子

    2. 2. 7

    纖維fiber

  • (長寬 比不小于 10 的粒子。
  • 2. 3描述符

  • 2. 3. 1
  • U 描述符U descriptor

  • 包括超微粒子在內的 每立方米空氣粒子的實測或規定濃度
  • U描述符可以作為采樣點平均濃度的上限(或置信上限 該置信上限依潔凈室或潔凈區性能評定采樣點數量而 定) 不能用 U描述符確定空氣潔凈度等級 但可以將其單獨或隨潔凈度等級引述

    2. 3. 2

    M 描述符M descriptor

  • 每立方米空氣中大粒子的實測或規定濃度 M 描述符中的當量粒徑與測量方法有關
  • M 描述符可以作為采樣點平均濃度上限(或置信上限 該值依潔凈室或潔凈區性能評定采樣點數量而定) 能用 U描述符確定空氣潔凈度等級 但可以將其單獨或隨潔凈度等級引述

    2. 4占用狀態

  • 2. 4. 1
  • 空態as-built

  • 設施已建成并運行但沒有生產設備 、材料和人員的狀
  • 2. 4. 2

    靜態at-rest

  • 設施已建成 生產設備已安裝好并按需方與供方議定的條件運行 但沒有人員的狀態
  • 2. 4. 3
  • 動態operational
  • 設施按規定方式運行 其內規定數量的人員按議定方式工作的狀態
  • 2. 5有關各方
  • 2. 5. 1
  • 需方customer
  • 規定潔凈室或潔凈區具體要求的機構或其代理
  • 2. 5. 2
  • 供方supplier

  • 使潔凈室或潔凈區達到規定要求的機構
  • 3等級
  • 3. 1占用狀態
  • 潔凈室或潔凈區的潔凈度等級 應按一種或幾種占用狀態確定 “空態“靜態” “動態”(見 2.
  • “空態”檢測適用于新建成或新改造的潔凈室或潔凈區 完成了“空態”檢測應進行“靜態”或“動態”或這兩 的達級檢測

  • 3. 2等級編號
  • 空氣潔凈度等級以等級編號 N 表示 每種關注粒徑 D 的最大允許粒子濃度 c. (1 確定
  • 1 )

    式中

  • Cn 一大于或等于關注粒徑的粒子最大允許濃度(以每立方米空氣中粒子的個數表示)  Cn 約為不超過 3 位有效數字的整數
  • N   ISO 等級的數字編號 最大不超過 9 N 的各整數等級之間可以設定最小增量為 0. 1 的中 間等
  • D一關注粒單位為微米( μm) ;

  • 0. 1 一常單位為微米( μm
  • 1 給出了空氣潔凈度的整數級別及其對應的關注粒徑及以上的粒子允許濃度 A. 1
  • 附錄 A)以圖解說明整數等級 出現爭議應以式 (1)計算出的濃度 Cn
  •  

    3. 3等級的表達

  • 表述潔凈室及潔凈區空氣的潔凈度 應包含以下內容
  • a) ISO N級表示的等級

    b)等級相應的占用狀態

  • c)等級的關注粒徑以及由式 (1 確定的相應濃度 且每個關注粒徑閾值均在 0. 1 μm-5μm
  • 示例:

    ISO 4 動態 關注粒徑O. 2 μm(2 370 /m31 μm(83 個/m3)

    需方與供方雙方應商定濃度測量中所用的一個或多個關注粒徑

    如果測量的關注粒徑不只一則相鄰兩粒徑中的大者 D 與小者 D)之比不得小于 1. 5

    D1. 5 ×D1

  • 4等級的證實
  • 4. 1原理
  • 根據需方與供方的協議 實施規定的檢測 并提供規定的檢測結果和檢測條件的文件 來驗證設施 符合需方規定的空氣潔凈度 (ISO 等級)要求
  • 4. 2檢測

  • 附錄 B 給出了達級驗證的基準檢測方法 也可以使用其他準確度可比的方法 如未指定或議定 其他檢測方則應使用基準檢測方法
  • 達級檢測中應使用經校準的儀器
  • 4. 3空氣懸浮粒子濃度限值

    4. 2 完成檢測按附錄 C 中的公式計算粒子平均濃度和 95 % 置信上限(適用時)

  • 按式C. 1)計算出的關注粒徑[見 3. 3c]的粒子平均濃度 不得超過按 3. 2 (1 計算出的濃度 限值。
  • 此外 若采樣點的數量不少于 2 且不多于 9則按 c. 3 規定計算出的 95 % 置信上不得超過上面

  • 計算的濃度限值
  • 附錄 D給出了等級計算實例

  • 粒子濃度用于判定與分級限值的一致性時 對所有關注粒徑的濃度測量都應采用 同一種方
  • 4. 4檢測報告

  • 以綜合報告的形式記錄并提交各潔凈室和潔凈區的檢測結果 報告中應聲明檢測結果是否達到 定的空氣潔凈度等級
  • 檢測報告應包括如下內容
  • 檢測機構的名稱 地址 檢測日期
  • b)本部分的國家標準編號 GB/T 25915. 1 - 2010

  • c)清楚標明所測潔凈室或潔凈區的具體位置(必要時以鄰近區域作參照)并標注所有采樣點的 具體坐標
  • d)為潔凈室或潔凈區所規定的標準 包括 ISO 等級 相應的占用狀關注粒徑
  • e)所用檢測方法的詳細說包括特殊的檢測條件以及與規定檢測方法的偏離之處檢測儀器的規格型儀器最新的校準證書
  • f)檢測結包括每個采樣點的坐標和粒子濃度數據
  • 2   若按附錄 E 的說明表述了超微位子或大粒子的濃度則檢測報告中就應包含相應信息

  • A

    (資料性附錄)

  • 潔凈度等級表 1 的圈示
  • A. l 是表 1空氣潔凈度等級的圖示 起說明作用 1 ISO 等級在圖中以直線表示 直線代表關注粒徑閾值所對應的等級濃度限值 這些限值是根據 3. 2 中的(1 計算得來 而圖中的直線 是等級限值的一種近似表示 不能以此確定限確定限值仍使
  • 圖中的實心點對應的是每個 ISO 等級粒徑閾值的最大和最小值 等級線不能延伸至實心點 之外
  • 等級線不代表潔凈室和潔凈區內粒徑的實際分布
  • B
  • (規范性附錄) 采用光散射離散粒子計
  • 測定粒子潔凈度等級
  • B. 1原理

  • 使用光散射離散粒子計數器 在指定的采樣測定大于或等于關注粒徑的空氣懸浮粒子濃度
  • B. 2儀器要求

    B. 2. 1粒子計數器

  • 離散粒子計數器 CDPC 是一種光散射測量裝置 能夠顯示或記錄空氣中離散粒子的數量和粒徑 有粒徑辨別力 可在相關潔凈度等級所涉及的粒徑范圍內測定粒子總濃度 并帶有一套合適的采樣 系統
  • B. 2. 2儀器校準

  • 儀器應具有有效的校準證書 校準頻度和校準方法應符合現行公認的標準和規范
  • B. 3   預檢測條件
  • B. 3. 1檢測準備

  • 檢測前 先驗證潔凈室或潔凈區整體運行的各個方面均正常元誤   符合性能要求 預檢測工作可包括如 z
  • a)風量或風速檢測

    b)空氣壓差檢測

    c)氣密性檢測

    d)已裝過濾器的檢漏

    B. 3. 2預檢測所用儀器的設置 按照制造商的說明設置并調準儀器

    B. 4采樣

    B. 4. 1確定采樣點位置

    B. 4. 1. 1按式CB. 1 求出最少采樣點數量

    式中

  • NLL 一最少采樣點數量(修約為整數)
  • A 一潔凈室或潔凈區的面單位為平方米( m2
  • :對水平單向流,面積 A 可以取垂直于氣流方向的截面積

    7

    B. 4. 1. 2

    確保采樣點在整個潔凈室或潔凈區內均勻分布 并位于工作面高度 若需方規定了 附加的采樣應對新增采樣點的數目和位置做出規定 附加采樣點可位于按風險分析得出的關鍵位置

  • B. 4. 2確定各采樣點的單次采樣量
  • B. 4. 2. 1

  • 若關注粒徑的最大粒子濃度處于指定 ISO 等級的濃度上限 則在每個采樣點要采集足以檢測出不 少于 20 顆粒子的空氣量
  • 由式<B. 2 確定每個采樣點的單次采樣量 V, :
  • Vs每個采樣點一次最少采樣量(例外情況見 B. 4. 2. 2 單位為升( L) ;
  • Cn,m 一相關等級最大關注粒徑的濃度限值 單位為個每立方米/m3
  • 20當粒子濃度處于等級限值時可被檢測到的粒子數量規定值
  • Vs值很大時 采樣時間可很長 使用序貫采樣法(見附錄 F)所需采樣量和采樣時間均可減少

  • B. 4. 2. 2
  • 每個采樣點的采樣量不得少于 2 L采樣時間不得少于 1 min
  • B. 4. 3采樣規程
  • B. 4. 3. 1
  • 按制造商的說明和儀器校準證書設置粒子計數器 CB. 2. 1)
  • B. 4. 3. 2
  • 采樣探頭應指向氣流 若采樣點處氣流方向未受控或不可預測( 例如非單向流) 則采樣探頭的進 氣口應垂直向上
  • B. 4. 3. 3
  • 在每個采樣點按 B. 4. 2 確定的最小采樣量采樣
  • B. 4. 3. 4
  • 當僅需要一個采樣點時 CB. 4. D 則在該點最少進行三次采樣
  • B. 5記錄結果

    B. 5. 1各采樣點的平均粒子濃度

  • B. 5. 1. 1
  • 記錄下相關空氣潔凈度等級的每個關注粒徑( 3. 3)粒子的單次采樣濃度
  • :在計95% 置信上限之應先考慮 B. 6. 1 的要

  • B. 5. 1. 2
  • 有一個采樣點時 計算每個關注粒徑采樣數據 <B. 4. 3. 4 )的平均值并記錄下來
  • B. 5. 1. 3
  • 當在一個采樣點上進行 2 次或 2 次以上的采樣按照 c. 2 中給出的規程 從各次采樣 CB. 5. 1. 1)
  • 計算出每個關注粒徑的粒子平均濃度 并記錄結果
  • B. 5. 295% 置信上限( UCL 的計算要求
  • B. 5. 2. 1

    當采樣點數量不只 1 且不到 10 按照 c. 3 中給出的規程 以所有各點的平均粒子濃

    CB. 5. 1)計算總平均值 標準差和 95 % 置信上限

  • B. 5. 2. 2
  • 當采樣點 1個或多于9 無需計算 95 % 置信上限

    B. 6數據分析

    B. 6. 1分級要求

    若每個采樣點測得的粒子濃度平均值 以及適用時按 B. 5. 2 計算的 95 % 置信上均未超過按 3. 2

    (1 確定的濃度限值 則認為該潔凈室或潔凈區達到規定的空氣潔凈度等級 若檢測結果未能滿足規定的空氣潔凈度等級 可新增均勻分布的采樣點進行檢測 重新計算結果

    除了包含新采樣點的數據外 還應包括原有采樣點的所有數據 對包括新采樣點在內的數據進行的 重新計其結果是不可更改的

    B. 6. 2異常值的處理

    95 % 置信上限( UCL) 的計算結可能未達到規定的 ISO 等級 如果未達級是測量差錯(由于操 作差錯或設備不正常所致或是粒子濃度異常低(由于個別測點空氣異常潔凈) 而引起的單個非隨機異 常值所則該值可以不計 條件是 z

    a)重新計算時包括所有剩余采樣點的數據   z

    b)計算中至少還有 3 測量值

    c)計算中不計的測量值不得超過 1

    d)記錄造成測量差錯或低粒子濃度的可疑原因 并得到供需雙方的認可

    :依所測潔凈設施的應用性各采樣點粒子濃度相當大的差異可能是合理的 甚至是有意而為

    C

    規范性附錄)

    粒子濃度數據的統計處理

    c. 1通則

    統計分析中只考慮隨機誤差(精度不足) 不考慮非隨機誤差(校準誤差造成的偏差)

    c. 395% 置信上限計算方法

  • E
  • (資料性附錄) 超出分組粒徑閾值范圍的粒子計徑和計數
  • E. 1原理

  • 在某些涉及特定工藝要求的情況下可按分級粒徑闊值范圍之外的粒子濃度另外規定空氣潔凈度 的水這類粒子的最大允許濃度和相應的檢測方法由需方與供方議定 E. 2 對于 U 描述符) E. 3
  • (對于 M描述符)中說明了相關檢測方法和規定表達式
  • E. 2小于 0. 1 μm 的粒子(超微粒子)一u 描述符

  • E. 2. 1應用
  • 如果需要評估小于 0. 1 μm 的粒子造成污染的風險 就要采用符合這類粒子具體特性的采樣裝置 和測量方法
  • 應按照 B. 4. 1 確定采樣點數量 最小采樣量 應為 2 L(B. 4. 2. 2
  • E. 2. 2U 描述符表達式
  • 可以單獨采用 U描述符說明超微粒子濃度 也可將它作為空氣潔凈度等級的補充說明
  • U描述符U ( x ; y 其中 z

  • z 超微粒子的最大允許濃度(以每立方米空氣超微粒子個數表示)
  • y 一一 以微米計的粒徑 合適的離散粒子計數器在該粒徑點的粒子計數效率為 50 %
  • 粒徑范圍二三 0. 01 μm 最大允許超微粒子濃度 140 000 /m3可表示為U040 000;0. 01 μm
  • 1 : IEST G-CC1002給出了小于 0. 1 μm 的懸浮粒子濃度的檢測方法

    2 :如果U 描述符作為空氣潔凈度等級的補充說明 則超微粒子的濃度(叫不得小于對應該 ISO 等級粒徑

    0. 1 μm 的粒子濃度限值(每立方米粒子個數)

    E. 3大于 5 μm 的粒子(大粒子)一M 描述符

    E. 3. 1應用

  • 如果需要評估大于 5 μm 的粒子造成污染的風險 就要用符合這類粒子具體特性的采樣裝置和測 量方法
  • 空氣懸浮粒子中的大粒子 般是從工藝環境中釋放的 應根據具體使用情況來確定適用的采 樣裝置和測量方法 需要考慮的因素有 粒子的密度 形狀 體積 空氣動力學特性等等 此外 可能還 需要特別關注總懸浮粒子中的特定組分 如纖維
  • E. 3. 2M 描述符表達式
  • M描述符可以單獨引也可將它作為空氣潔凈度等級的補充說明 M 描述符用 M ( a ; b)   ; c”表 其中

  • a 一大粒子的最大允許濃度(以每立方米空氣中的大粒子個數表示)
  • b 一與規定的大粒子測量方法對應的當量直徑(或直徑) (μm) ;
  • c 規定的測量方法
  • 如果采樣的懸浮粒子中含有纖則可以在 M 描述符上加一個纖維標表示為M奸維 a   ;b)   ;c

    示例 1 :

    若使用氣溶膠飛行時間粒子計數器 測定的粒子空氣動力學直徑> S μm 的粒子濃度為 10 000 /m3則用 M 描述 符表示為

    M(1000;>5 μm氣溶膠飛行時間粒子計數器”

    示例 2:

    若使用顯微鏡對多級撞擊采樣器采集的粒子進行粒徑測定和計數 測得 10 μm   - 20   μm 粒徑范圍的懸浮粒子濃度為1000 /m3則用 M 描述符表示為

    M(1000;10 μm -20  μm多級撞擊采樣器以顯微鏡測定粒徑并計數飛

    2: IEST-G-CC1003 中給出了大于5 μm的懸浮粒子濃度的檢測方法

    3 使用M 描述符作為空氣潔凈度等級的補充說明 則大粒子濃度 a 不得大于對應于該 ISO   等級的粒徑 5   μm的粒子濃度限值(每立方米粒子個數)

  • F
  • (資料性附錄) 序貫采樣法
  • F. 1
  • 背景和條件
  • F. 1. 1背景

  • 若采樣空氣的污染度明顯大于或明顯小于規定等級中關注粒徑的粒子濃度限值 采用序貫采樣法 通常可大幅度減少采樣量和采樣時間 即使濃度接近規定限值時 序貫采樣法仍可節省一些工作量 當預期空氣潔凈度為 ISO 4 級或更潔凈序貫采樣法最合適
  • 2   有關序貫采樣法的詳細資料見 IEST-G-CCl 004.

  • F. 1. 2限制
  • 序貫采樣法的主要限制條件是
  • a)此法僅適用于在規定等級或濃度限值處對關注粒徑的每次采樣目 標總數為 20 顆粒子
  • b)每次樣本測量都要輔以監測和數據分析 可由計算機自動完成
  •  c)由于序貫采樣法降低了采樣測出的粒子濃度不如常規采樣法精確  
  • 對一個規定采樣點進行空氣采樣時 正在累計的粒子總數不停地與參照限值進行比較 該參照限 值是己采集空氣量與規定總量之比的函數 若正在累計的計數小于已采空氣量對應的參照值下限 認為采樣空氣符合規定的等級或濃度限值 于是終止采樣
  • 若正在累計的計數大于已采空氣量對應的參照值上限 則采樣空氣不符合規定的等級或濃度限值 于是終止采樣 只要正在累計的計數仍處在上下限之間 采樣就不一直累計到完整的樣本
  • F. l 中的 C 是實測計數 它與 E 相對應 E 是預期計數 即假定關注粒徑的粒子濃度處在規定限 值處 以一個完整的單次空氣采樣時間內可采集到 20 顆粒子的速率(采樣量對采樣時間) 采樣可采 到粒子的計數
  • F. l 是另一種等效方法 如表所將實測計數 C 出現的時間與測量完整單個樣本遞進的時間 進行比較 若計數發生的時間早于表中左欄的遞進時間 則所采空氣不符合規定限值 z若計數發生時間 遲于表中右欄的遞進時間 則所采空氣滿足規定限值 粒子的出現時間與表中的限定時間最多 需要進 21 次比較
  • F. 3采樣規程

  • F. 3. 1   序貫采樣的參照值
  • 隨著數據采集的進程判定結果的比較法有兩種 累進數據計算機分析方法較好 并推薦使用
  • F. 3. 2采樣對照圖
  • F. l 顯示出按式( F. l)和式F. 2 設定的邊界線 這兩條邊界線在 E= 20 處截斷 此處代表采集 一個完整樣本所需的時間 C= 20 即為最大合格實測計數
  • 該圖繪出了粒子濃度精確處在規定等級水平時 觀測計數與預期計數的對應關系 預期計數的增 加伴隨著時間的流逝 E=20 表示粒子濃度處在等級限值時累計到一個完整采樣量所需的時間
  • 按照圖 F. l 進行序貫采樣的規程如下
  • 隨著采樣的進記錄下作為時間函數的粒子計數 并將該計數與圖 F. 1 的上下邊線進行比較 若實測累計計數值超過了上邊線 則終止該采樣點的采表明空氣不符合規定的等級限值 若實測累 計計數值低于下邊線 則終止該采樣點的采樣 表明空氣符合規定的等級限值 若實測累計值處于 下邊線之則繼續進行采樣
  • 若到規定的采樣時間結束時 總計數未超過 20未超過上邊可判定空氣達到等級
  • F. 3. 3采樣對照表
  • F. 1 給出另一種等效的序貫采樣法 其中的數據也是按式 C F. l)和式 C F. 2 出來表中的 時間 t 賦值為 1. 000 0代表采集一個完整樣本的時間段 其樣本量即空氣中關注粒徑的粒子剛好處于 其等級限值當量濃度時 測出 20 粒子的表中所列各時間值為一個完整樣本所需總累計時間 的各遞進部分
  • 按表 F. 1進行序貫采樣的方法如下
  • 隨著采樣的進行 記錄粒子計數及出現的時間 將每次實測到計數的時間與表中所示的兩個時間欄 進行比較 若一個實測計數累計值出現的時間早于表中左側時間欄標明的遞進時間   則終止采報告 空氣未達到規定的等級若一個實測計數的累計值出現的時間晚于表中右側時間欄標明的遞進時間 終止采樣 報告空氣達到規定的等級 若實測計數累計不斷地出現在兩個時間欄所示時間之間 則繼續 若不斷進行的 21 次比較中元計數早于左欄的遞進時間 則這個完整樣本表明空氣達到規定
  • [1]IEST-G-CC1002 , Determina tion of the Concentra tion of Airborne Ultrafine Particles .

  • Mou nt Prospect , Illinois: Instit ute of Environmental Sciences and Technology (1999)
  • [2]IEST-G-CC1003 , Measurement of Airborne Macroparticles. Mount Prospect , Illinois : In-

  • stitute of Environmental Sciences and Technology (1999)
  • [3] IEST-G-CCl 004 , Sequential Sampling Plan for Use in Classification of the Particulate Cleanliness of Air in Cleanrooms and Clean Zones. Mount Prospect , Illinois : Institute of Environmen- tal Sciences and Technology (1999)

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